CS200 Mass Flow Controller & Flow Meter-Fornitore globale

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CS200 Mass Flow Controller & Flow Meter

Il regolatore di flusso di massa del gas CS200 adotta sensori avanzati e tecnologia di compensazione della temperatura, in modo che l'accuratezza del

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vantaggio

Il principio di utilizzo di un sensore di potenza costante compensa i cambiamenti di temperatura, sopprimendo fondamentalmente il fenomeno di deriva zero del misuratore di portata e garantendo la linearità del sensore.

Il prodotto CS200C adotta la tecnologia specializzata di trattamento superficiale del metallo e tutti i materiali metallici di superficie a contatto con il gas sono fatti di 316LVV. La rugosità superficiale del metallo del prodotto CS200C può raggiungere sotto 10RA e la rugosità superficiale del metallo del prodotto CS200D può raggiungere 25RA.

I prodotti CS200 sono rigorosamente realizzati secondo gli standard SEMI e le loro dimensioni sono conformi agli standard SEMI riconosciuti a livello internazionale.

I prodotti della serie CS200 supportano alimentatori duali che vanno da ± 8V a ± 16V+ 14V~+28V singolo alimentatore; Ingresso/uscita digitale analogico.

•supporto ai prodottiRS485, metodo di comunicazione DeviceNet.

Un software client libero con multi gas e funzioni multi gamma, funzione di azzeramento automatico, funzione di allarme, funzione soft start, funzione di ritardo e potenti caratteristiche.

Parametro tecnico

CS200
modello	CS200-A		CS200-C		CS200-D
Tipo di valvola	Normalmente aperto (specifica del flusso ≤ 30SLM) O normalmente chiuso	non hanno	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno
Specificazione del flusso (N2)	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM		(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
precisione	±1,0% S.P. (≥35% F.S.) ±0,35% F.S.(±35% F.S.)
lineare	±0,5% F.S.
ripetibilità	±0,2% F.S.
tempo di risposta	≤ 1 sec		≤ 0,8 sec
Gamma di differenza di pressione di esercizio	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM 0.1-0.35MPa 10 ＜ Specificazione di flusso ≤ 30SLM 0.2~0.45MPa 30 ＜ Specificazione di flusso ≤ 50SLM	＜0,02 MPa	0,05～0,35MPa Specificazione del flusso ≤ 10SLM 0,1～0,35MPa Specificazione del flusso>10SLM	＜0,02 MPa	0,05～0,35MPa Specificazione del flusso ≤ 10SLM 0,1～0,35MPa Specificazione del flusso>10SLM	＜0,02 MPa
Pressione massima di esercizio	0,45 MPa
coefficiente di temperatura	Punto zero: ≤ ±0,05% F.S./℃; Durante la regolazione: ≤ ± 0,1% F.S./℃ specificazione di flusso ≤ 30SLM Durante la regolazione: ≤ ± 0,2% F.S./℃ specificazione della portata>30SLM		Punto zero: ≤ ±0,02% F.S./℃; Durante la regolazione: ≤ ±0,05% F.S./℃
resistenza alla compressione	3MPa
Tasso di perdita	1×10^-10Pa·m³/ sec He		1×10^-11Pa·m³/ sec He
Materiale di tenuta	VITON		guarnizione metallica
Temperatura ambiente	（5～45）℃		（0～50）℃
Segnale di ingresso	Numero: RS485 o DeviceNet o Profibus Simulazione: (0-5) VDC o (4-20) mA o (0-20) mA	non hanno	Numero: RS485 O DeviceNet O ProfiBus Simulazione: (0～5)VDC O (4-20) mA O (0-20) mA	non hanno	Numero: RS485 O DeviceNet O ProfiBus Simulazione: (0～5)VDC O (4-20) mA O (0-20) mA	non hanno
segnale di uscita	Numero: RS485 o DeviceNet o Profibus Simulazione: (0-5) VDC o (4-20) mA o (0-20) mA
deriva	＜ 0,6% F.S./anno senza correzione del punto zero
alimentazione elettrica	± 8 a ± 16 VDC (bipolare) o da + 14 a + 28 VDC (unipolare)
composizione chimica superficiale	normale		Rapporto Cr/Fe ≥ 2,0, CrO spessore ≥ 20 (angstroms)		normale
Rugosità superficiale	25 Ra		10 Ra		25 Ra
Forma comune standard	Doppio manicotto della carta con un diametro di 6; Manicotto doppio 1/4 ´; Manicotto doppio 3/8 ´; connettore maschio VCR1/4; Doppio manicotto della carta con un diametro di 3; Manicotto doppio 1/8 pollici; VCO 1/4"; φ 6 (interno) x1 connettore tubo; 5 (interno) connettore per tubi x1,5; 4 (interno) connettore per tubo flessibile x1; Doppio manicotto della carta con un diametro di 10mm; giunto sigillato tipo A;		Doppio manicotto della carta con un diametro di 3; Doppio manicotto della carta con un diametro di 6; Manicotto doppio 1/4; connettore maschio VCR1/4; 1.5 ´ giunto sigillato tipo C; Giunto di tenuta tipo 1,5 ´ W
Forma del connettore di alimentazione	connettore maschio a 9 pin tipo D; connettore maschio tipo D a 15 pin; Connettore DeviceNet; Connettore ProfiBus; Connettore simulato
peso	1 Kg	0,8Kg	1,2Kg	1Kg	1,2Kg	1Kg

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