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CS200H Mass Flow Controller & Flow Meter
Il controllo del flusso di massa del gas CS200H è un prodotto digitale ad alta temperatura prodotto dal misuratore di portata Seven Star. Le sue parti
Dettagli del prodotto

vantaggio

Temperatura di funzionamento del regolatore: 90-120 ℃.
Alta precisione di controllo: L'accuratezza del prodotto può raggiungere ± 1,0% S.P. (≥ 35% F.S.).
Risposta rapida, tempo di risposta ≤ 0.8sec.
Adottando il principio del sensore di potenza costante, la compensazione corrispondente viene effettuata quando la temperatura cambia, sopprimendo fondamentalmente il fenomeno di deriva zero del misuratore di portata e assicurando la linearità del sensore.
I prodotti di fascia alta utilizzano la tecnologia specializzata di trattamento superficiale del metallo e tutti i materiali metallici di superficie a contatto con il gas sono fatti di 316LVV. Il prodotto CS200 ha una rugosità superficiale del metallo fino a 10RA o meno ed è fabbricato rigorosamente in conformità con gli standard SEMI.
• Supporta l'alimentazione doppia di ± 8V~± 16V+ 14V~+28V singolo alimentatore; Ingresso/uscita digitale analogico.
La dimensione del prodotto è conforme allo standard SEMI riconosciuto a livello internazionale, RS485, e al metodo di comunicazione DeviceNet.

Parametro tecnico

CS200

modello

CS200-H

Tipo di valvola

normalmente chiuso

non hanno

Specificazione del flusso (N2)

(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

precisione

±1,0% S.P. (≥35% F.S.)
±0,35% F. S.(<35% F.S.)

lineare

±0,5% F.S.

ripetibilità

±0,2% F.S.

tempo di risposta

≤ 1 sec

Gamma di differenza di pressione di esercizio

Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM
Specificazione di flusso 0.1-0.35MPa>10SLM

<0,02 MPa

Pressione massima di esercizio

0,45 MPa

coefficiente di temperatura

Punto zero: ≤ ±0,1% F.S./℃; Durante la regolazione: ≤ ±0,1% F.S./℃

resistenza alla compressione

3MPa

Tasso di perdita

1×10-11Pa·m3/ sec He

Materiale di tenuta

guarnizione metallica

Temperatura ambiente

Regolatore di portata di massa/misuratore di portata: (90-120) ℃; Scatola di controllo: (0-50) ℃

Segnale di ingresso

Numero: RS485 o DeviceNet
Simulazione: (0-5) VDC o (4-20) mA

non hanno

segnale di uscita

Numero: RS485 o DeviceNet
Simulazione: (0-5) VDC o (4-20) mA

deriva

< 0,6% F.S./anno senza correzione del punto zero

alimentazione elettrica

± 8 a ± 16 VDC (bipolare) o da + 14 a + 28 VDC (unipolare)

composizione chimica superficiale

Rapporto Cr/Fe ≥ 2,0, CrO spessore ≥ 20 (angstroms)

Rugosità superficiale

10 Ra

Forma comune standard

Doppio manicotto della carta con un diametro di 6; Manicotto doppio 1/4; connettore maschio VCR1/4; 1.5 ´ Giunto di tenuta tipo C
Giunto di tenuta tipo 1,5 ´ W

Forma del connettore di alimentazione

connettore maschio a 9 pin tipo D; connettore maschio tipo D a 15 pin; Connettore DeviceNet

Collegare cavi ad alta temperatura

2m

peso

1,2Kg

1Kg

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