vantaggio
Temperatura di funzionamento del regolatore: 90-120 ℃.
Alta precisione di controllo: L'accuratezza del prodotto può raggiungere ± 1,0% S.P. (≥ 35% F.S.).
Risposta rapida, tempo di risposta ≤ 0.8sec.
Adottando il principio del sensore di potenza costante, la compensazione corrispondente viene effettuata quando la temperatura cambia, sopprimendo fondamentalmente il fenomeno di deriva zero del misuratore di portata e assicurando la linearità del sensore.
I prodotti di fascia alta utilizzano la tecnologia specializzata di trattamento superficiale del metallo e tutti i materiali metallici di superficie a contatto con il gas sono fatti di 316LVV. Il prodotto CS200 ha una rugosità superficiale del metallo fino a 10RA o meno ed è fabbricato rigorosamente in conformità con gli standard SEMI.
• Supporta l'alimentazione doppia di ± 8V~± 16V+ 14V~+28V singolo alimentatore; Ingresso/uscita digitale analogico.
La dimensione del prodotto è conforme allo standard SEMI riconosciuto a livello internazionale, RS485, e al metodo di comunicazione DeviceNet.
Parametro tecnico
CS200 |
||
modello |
CS200-H |
|
Tipo di valvola |
normalmente chiuso |
non hanno |
Specificazione del flusso (N2) |
(0~2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
|
precisione |
±1,0% S.P. (≥35% F.S.) |
|
lineare |
±0,5% F.S. |
|
ripetibilità |
±0,2% F.S. |
|
tempo di risposta |
≤ 1 sec |
|
Gamma di differenza di pressione di esercizio |
Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM |
<0,02 MPa |
Pressione massima di esercizio |
0,45 MPa |
|
coefficiente di temperatura |
Punto zero: ≤ ±0,1% F.S./℃; Durante la regolazione: ≤ ±0,1% F.S./℃ |
|
resistenza alla compressione |
3MPa |
|
Tasso di perdita |
1×10-11Pa·m3/ sec He |
|
Materiale di tenuta |
guarnizione metallica |
|
Temperatura ambiente |
Regolatore di portata di massa/misuratore di portata: (90-120) ℃; Scatola di controllo: (0-50) ℃ |
|
Segnale di ingresso |
Numero: RS485 o DeviceNet |
non hanno |
segnale di uscita |
Numero: RS485 o DeviceNet |
|
deriva |
< 0,6% F.S./anno senza correzione del punto zero |
|
alimentazione elettrica |
± 8 a ± 16 VDC (bipolare) o da + 14 a + 28 VDC (unipolare) |
|
composizione chimica superficiale |
Rapporto Cr/Fe ≥ 2,0, CrO spessore ≥ 20 (angstroms) |
|
Rugosità superficiale |
10 Ra |
|
Forma comune standard |
Doppio manicotto della carta con un diametro di 6; Manicotto doppio 1/4; connettore maschio VCR1/4; 1.5 ´ Giunto di tenuta tipo C |
|
Forma del connettore di alimentazione |
connettore maschio a 9 pin tipo D; connettore maschio tipo D a 15 pin; Connettore DeviceNet |
|
Collegare cavi ad alta temperatura |
2m |
|
peso |
1,2Kg |
1Kg |