CS300 Mass Flow Controller & Flow Meter-Fornitore globale

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CS300 Mass Flow Controller & Flow Meter

Il regolatore di portata massica del gas CS300 è un prodotto progettato specificamente per apparecchiature a circuito integrato su larga scala che uti

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vantaggio

L'accuratezza adotta la precisione del punto impostato e l'accuratezza del prodotto può raggiungere ± 1.0% S.P., con il tempo di risposta più veloce ≤ 0.5sec.
I prodotti della serie CS300 possono essere dotati di funzione di compensazione della pressione per compensare efficacemente il disturbo della pressione del gas nella sezione anteriore, ridurre l'impatto delle variazioni di pressione sulla portata istantanea e garantire la stabilità e l'accuratezza del funzionamento del prodotto.
Il principio di utilizzo di un sensore di potenza costante compensa i cambiamenti di temperatura, sopprimendo fondamentalmente il fenomeno di deriva zero del misuratore di portata e garantendo la linearità del sensore.
I prodotti di fascia alta utilizzano la tecnologia specializzata di trattamento superficiale del metallo e tutti i materiali metallici a contatto con il gas sono fatti di 316LVV. Il prodotto CS300C ha una rugosità superficiale del metallo inferiore a 5RA ed è rigorosamente fabbricato secondo gli standard SEMI.

Parametro tecnico

CS300
modello	CS310C		CS320C		CS310D		CS320D
Tipo di valvola	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno
Specificazione del flusso (N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
precisione
lineare	±0,5% F.S.
ripetibilità	±0,2% F.S.
tempo di risposta	≤ 0.8sec (≤ 0.5sec opzionale)
Gamma di differenza di pressione di esercizio	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM Specificazione di flusso 0.15~0.35MPa>10SLM	＜0,02 MPa	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM Specificazione di flusso 0.15~0.35MPa>10SLM	＜0,02 MPa	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM Specificazione di flusso 0.15~0.35MPa>10SLM	＜0,02 MPa	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM Specificazione di flusso 0.15~0.35MPa>10SLM	＜0,02 MPa
coefficiente di temperatura	Punto zero: ≤ ±0,02% F.S./℃; Durante la regolazione: ≤ ±0,05% F.S./℃
resistenza alla pressione	3,5 MPa
Tasso di perdita	1×10^-11Pa·m³/ sec He
Materiale di tenuta	guarnizione metallica
Pressione massima di esercizio	0,45 MPa
Temperatura ambiente	（0～50）℃
Segnale di ingresso	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC	non hanno	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC	non hanno	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC	non hanno	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC	non hanno
segnale di uscita	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC
deriva	＜ 0,6% F.S./anno senza correzione del punto zero
alimentazione elettrica	± 8 a ± 16 VDC (bipolare) o da + 14 a + 28 VDC (unipolare)
composizione chimica superficiale	Rapporto Cr/Fe ≥ 2,0; CrO spessore ≥ 20 (angstroms)				-
Rugosità superficiale	Ra 5μinch
Forma comune standard	connettore maschio VCR1/4; Giunto di tenuta tipo C Giunto di tenuta a forma di W		Giunto di tenuta di tipo B da 1,5" Giunto di tenuta di tipo C da 1,5" Giunto sigillato a forma di W da 1,5"		connettore maschio VCR1/4; Giunto di tenuta tipo C Giunto di tenuta a forma di W		Giunto di tenuta di tipo B da 1,5" Giunto di tenuta di tipo C da 1,5" Giunto sigillato a forma di W da 1,5"
Forma del connettore di alimentazione	connettore maschio a 9 pin tipo D; connettore maschio tipo D a 15 pin; Connettore DeviceNet
peso	1 Kg	0,8Kg	1,2Kg	1Kg	1 Kg	0,8Kg	1,2Kg	1Kg

modello	CS310C		CS320C
Tipo di valvola	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno	Normalmente aperto o normalmente chiuso	non hanno
Specificazione del flusso (N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
precisione	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0,80% S.P. (≥30% F.S.) ±0,35% F.S. (±35% F.S.) ±0,24% F.S. (±30% F.S.)
lineare	±0,5% F.S.
ripetibilità	±0,2% F.S.
tempo di risposta	≤ 0.8sec (≤ 0.5sec opzionale)
Gamma di differenza di pressione di esercizio	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM Specificazione di flusso 0.15~0.35MPa>10SLM	＜0,02 MPa	Specificazione di flusso 0.05-0.35MPa ≤ 10SLM Specificazione di flusso 0.15~0.35MPa>10SLM	＜0,02 MPa
coefficiente di temperatura	Punto zero: ≤ ±0,02% F.S./℃; Durante la regolazione: ≤ ±0,05% F.S./℃
resistenza alla pressione	3,5 MPa
Tasso di perdita	1×10-11 Pa·m3 / sec He
Materiale di tenuta	guarnizione metallica
Pressione massima di esercizio	0,45 MPa
Temperatura ambiente	（0～50）℃
Segnale di ingresso	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC	non hanno	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC	non hanno
segnale di uscita	Numero: RS485 o DeviceNet Simulazione: (0～5)VDC
deriva	＜ 0,6% F.S./anno senza correzione del punto zero
alimentazione elettrica	± 8 a ± 16 VDC (bipolare) o da + 14 a + 28 VDC (unipolare)
composizione chimica superficiale	Rapporto Cr/Fe ≥ 2,0; CrO spessore ≥ 20 (angstroms)
Rugosità superficiale	Ra 5μinch
Forma comune standard	connettore maschio VCR1/4; Giunto di tenuta tipo C Giunto di tenuta a forma di W		Giunto di tenuta di tipo B da 1,5" Giunto di tenuta di tipo C da 1,5" Giunto sigillato a forma di W da 1,5"
Forma del connettore di alimentazione	connettore maschio a 9 pin tipo D; connettore maschio tipo D a 15 pin; Connettore DeviceNet
peso	1 Kg	0,8Kg	1,2Kg	1Kg

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