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Regolatore di portata di massa DS300
Il regolatore di portata massica del gas tipo di pressione DS300 è un regolatore di portata massica del gas sviluppato per l'industria dei semicondutt
Dettagli del prodotto
vantaggio
Elevata precisione di controllo, con una precisione di ± 1,0% S.P. (≥ 10% F.S.).
Velocità di risposta veloce, tempo di risposta ≤ 0.5sec.
Adottando la tecnologia del sensore di flusso basata sul principio di pressione, il prodotto ha caratteristiche insensibili alla pressione e può adattarsi alle grandi fluttuazioni della pressione della fonte di gas.
Il DS300 adotta l'efficace tecnologia meccanica di elaborazione e la tecnologia di trattamento superficiale per risolvere il problema dei fori profondi e piccoli che non possono o sono difficili da lucidare elettro (EP), ottenendo il trattamento elettrochimico di superficie di lucidatura di piccoli fori in acciaio inossidabile, fori ciechi profondi e fori incrociati con apertura relativamente piccola (apertura <1mm) e rapporto di aspetto relativamente grande (> 10), soddisfacendo pienamente i requisiti degli standard SEMI.
Parametro tecnico
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DS300C |
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modello |
DS300C |
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Tipo di valvola |
normalmente chiuso |
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Specificazione del flusso (N2) |
(0～30,50,100,200,300,500) SCCM |
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precisione |
±1% S.P. (≥10% F.S.) |
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lineare |
±0,5% F.S. |
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ripetibilità |
±0,2% F.S. |
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tempo di risposta |
≤ 0.5sec |
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pressione in ingresso |
Specificazione di flusso 240-450KPa ≤ 5SLM |
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KPa |
≤ 1.2KPa Specificazione di flusso ≤ 5SLM |
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coefficiente di temperatura |
Punto zero: ≤ ±0,02% F.S./℃; |
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resistenza alla pressione |
3 MPa |
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Tasso di perdita |
1×10-11Pa·m3/ sec He |
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Materiale di tenuta |
guarnizione metallica |
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Pressione massima di esercizio |
0,45 MPa |
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Temperatura ambiente |
（10～45）℃ |
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Segnale di ingresso |
Numero: RS485 o DeviceNet |
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segnale di uscita |
Numero: RS485 o DeviceNet |
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deriva |
＜ 0,6% F.S./anno senza correzione del punto zero |
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alimentazione elettrica |
± 8 a ± 16 VDC (bipolare) o da + 14 a + 28 VDC (unipolare) |
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composizione chimica superficiale |
Rapporto Cr/Fe ≥ 2,0; |
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Rugosità superficiale |
Ra 5μinch |
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Forma comune standard |
connettore maschio VCR1/4; |
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Forma del connettore di alimentazione |
connettore maschio a 9 pin tipo D; |
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peso |
1,2Kg |
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