Retrofit CDSEM S-9380 esegue gli stessi parametri tecnici di accettazione della nuova macchina originale:

提供样品测试验证；

Generale

Dimensioni del wafer: 8 pollici(200-mm)dimensioni)

È applicabile il wafer a V-notch degli standard SEMI o JEIDA.

Misurazione CD principioMisura del profilo del cursore e della linea

Gamma di misurazione CDda 0,05 a 2,0mm (larghezza della linea o diametro del foro)

Riproduzibilità della misurazione CD±1% o 0,6 nm (3 sigma), a seconda della maggiore

Rendimento: a causa dei dati dopo modifica da HitachiSocietà High-Technologies

Risoluzione immagine elettronica secondaria

2 nm (a tensione di accelerazione di 0,8 kV; con

Esempio di riferimento Hitachi per la risoluzionemisurazione)

ingrandimento: immagine SEM - 1.000´fino a 300.000´

Immagine del microscopio ottico - circa 110x (220x èfacoltativo)

升级：实验室数据上传接口；