Caratteristiche del prodotto KRI Hall Ion Source eH 400:

BertonKRIFonte di ioni HalleH 400Caratteristiche:

1.Componente di anodo rimovibile-Facile da mantenere;Durante la manutenzione,Ridurre al minimo i tempi di fermo;Anodo di ricambio plug-and-play

2.Corrente di scarica elevata a fascio largo-Tasso di incisione uniforme;Alta efficienza di incisione;Rivestimento ad alta ionizzazioneIADEfficienza

3.Multiuso-ApplicabileLoad lock /Sistema ad alto vuoto

4.Conversione efficiente del plasma e controllo stabile della potenza