Microscopio metallografico di ispezione del chip a distanza infinita della grande piattaforma LW400LJT/LW400LMDT
Il microscopio di ispezione del chip a distanza infinita della grande piattaforma è adatto per industrie quali ispezione del wafer a semiconduttore, imballaggio del chip, substrati del circuito e materiali. Può essere utilizzato per la polarizzazione e la conversione tra osservazioni di campo luminoso e scuro. Stage di grande portata mobile appositamente progettato, con una gamma mobile di 8 "× 8" (204mm × 204mm), per soddisfare le esigenze dell'industria dei semiconduttori. Meccanismo di messa a fuoco grossolana a micro movimenti grossolani, elasticità di movimento grossolano regolabile, con dispositivo di bloccaggio limite, valore della griglia di movimento micro: 0,7 μ m. Tre obiettivi barilotto, in grado di fotografia trasparente al 100%.
Configurazione standard
specifiche tecniche | |||
oculare |
Ampio campo visivo WF10X (dimensione del campo visivo Φ 22mm) |
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Lente acromatica a campo piatto infinito |
LW400LJT |
PL L5X/0.12 distanza di lavoro: 26,1 mm |
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PL L10X/0,25 distanza di lavoro: 20,2 mm | |||
PL L20X/0.40 distanza di lavoro: 8,80 mm | |||
PL L50X/0.70 distanza di lavoro: 3,68 mm | |||
PL L80X/0.80 distanza di lavoro: 1,25 mm | |||
LW400LMDT |
PL L5X/0.12 BD distanza di lavoro: 9,70 mm |
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PL L10X/0.25 BD distanza di lavoro: 9.30 mm | |||
PL L20X/0.40 BD distanza di lavoro: 7.23mm | |||
PL L50X/0.70 BD distanza di lavoro: 2,50 mm | |||
PL L80X/0.80 BD distanza di lavoro: 1,25 mm | |||
tubo oculare |
Triplo oculare inclinato a 30 gradi, in grado di trasmettere la luce al 100% |
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Sistema di illuminazione della luce di caduta |
LW400LJT |
Lampada alogena 6V30W, luminosità regolabile |
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LW400LMDT |
Lampada alogena 12V50W, luminosità regolabile |
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Built in campo di vista barra luminosa, barra luminosa dell'apertura, (giallo, blu, verde, vetro smerigliato) dispositivo di conversione del filtro di colore, analizzatore push-pull e polarizzatore | |||
Focalizzatore |
Messa a fuoco grossolana microgrossolana con dispositivi di bloccaggio e limitazione, valore micro griglia: 0,7 μ m |
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convertitore |
Cinque fori (posizionamento interno della palla) |
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fase |
Fase meccanica, dimensioni esterne: 280mmX270mm, campo di movimento: orizzontale (X) 204mm, verticale (Y) 204mm |