Tecnologia a fascio triionico

I componenti del fascio triionico sono verticali alla superficie laterale del campione, quindi il campione (fissato sul palletto del campione) non ha bisogno di un movimento oscillante durante il bombardamento del fascio ionico per ridurre l'effetto di proiezione / blocco, che a sua volta garantisce una conduzione termica efficace e riduce la deformazione termica del campione durante il trattamento.
Tecnologia
Il fascio triionico si riunisce nel punto medio del bordo del parapetto, formando una superficie di bombardamento a 100 ° che taglia il campione esposto al di sopra del parapetto (l'estremità superiore del campione è di circa 20-100 μm in alto dal parapetto) fino a quando il bombardamento raggiunge l'area di destinazione interna del campione. La pistola a ioni di nuova progettazione produce velocità di macinazione a fascio di ioni fino a 300 μm/h (Si10 kV, 3,0 mA, altezza di taglio di 50 μm). L'unico sistema di fascio a tre ioni Leica consente di ottenere sezioni di taglio di alta qualità e velocità elevate, con superfici di taglio larghe e profonde, che consentono di risparmiare notevolmente tempo di lavoro. Questa tecnologia unica consente di ottenere sezioni di taglio di alta qualità fino a dimensioni di area > 4 x 1 mm

Leica EM TIC 3X - caratteristiche innovative per progettazione e funzionamento

Alta portata, maggiori profitti sui costi
›› Sezioni di taglio di alta qualità fino a dimensioni > 4 x 1 mm
››La piattaforma multi-campionamento è progettata per ospitare tre campioni contemporaneamente
›› Alta velocità di macinatura ionica, materiale Si 300 μm / h, altezza di taglio di 50 μm per soddisfare i requisiti di alta portata di laboratorio
>> Dimensioni del campione più grandi 50 x 50 x 10 mm
››Una vasta gamma di supporti per campioni semplici da usare e di alta precisione
››Facile e accurato montaggio del campione sul supporto e regolazione della posizione relativa al parapetto
››Semplice manovra tramite touchscreen senza speciali tecniche
››Il processo di trattamento dei campioni può essere monitorato in tempo reale tramite specchio o telecamera HD-TV
›› Illuminazione a LED per la visualizzazione dei campioni e la calibrazione della posizione
› Sistema di pompa a vuoto integrato e disegnato per una visione senza vibrazioni
>> Può essere eseguito ulteriormente il rafforzamento della rivestimento sulla sezione di taglio piatta preparata, cioè il trattamento dell'incisione a fascio ionico.
››Caricare o scaricare parametri e programmi tramite USB
››Applicabile a quasi tutti i campioni di materiale
››Con il banco di campionamento congelato, la temperatura del pannello e del campione può essere ridotta fino a –150°C

Diversità di campioni

Adatto per campioni di quasi tutte le dimensioni e per un'ampia gamma di usi. Con un solo portacampioni, è possibile effettuare la pre-preparazione meccanica (Leica EM TXP) fino al taglio a fascio ionico (Leica EM TIC 3X) e l'ispezione a specchio SEM prima di inserire il campione nel contenitore per la verifica successiva.

Miglioramento della rivestimento

Dopo il taglio del fascio ionico, non è necessario rimuovere il campione, lo stesso supporto del campione può anche migliorare il rivestimento del campione, che può rafforzare la topologia del campione prima delle diverse fasi (come il confine cristallino)

Alta precisione

Ora, le strutture dettagliate sempre più piccole del campione stanno gradualmente attirando attenzione. E l'acquisizione di sezioni tagliando, come l'acquisizione di piccole strutture di fori TSVia, è diventato facile. Tutte le banche di campionamento sono progettate per una precisione di calibrazione della posizione del campione di ±2 μm. Non solo la precisione del controllo del banco di campionamento consente una calibrazione così precisa del posizionamento dell'obiettivo, ma il sistema di osservazione può anche osservare dettagli del campione di dimensioni minime di circa 3 μm per un posizionamento preciso dell'obiettivo. Per aiutare ad osservare meglio i campioni durante il posizionamento, le fonti di luce anellare a LED a 4 segmenti o l'illuminazione coassiale a LED sono di grande aiuto per aiutare l'utente a ottenere immagini chiare dallo specchio o dalla telecamera HD-TV.
Poiché la pompa a vuoto è integrata all'interno dello strumento, non è necessario liberare più spazio da solo. Grazie al disegno di disaccoppiamento della pompa a vuoto, durante la preparazione del campione il campo visivo non è disturbato dalle vibrazioni generate dalla pompa a vuoto.