Componente a disco con precisione di filtrazione di 0,003 μ m, portata consigliata di 10-100L/min

Tutti i materiali filtranti sono realizzati in SUS316L, quindi non c'è bisogno di preoccuparsi della corrosione e dei prodotti intermedi, pur avendo anche un'elevata resistenza al calore.

Utilizzando l'ingresso di azoto (N2), quando la pressione sul lato di ingresso del filtro è 0,2 MPa e la portata è 90 SLM, la perdita di pressione ∆ sul lato di uscita è 0,05 MPa.

La precisione di filtrazione in modalità fissa o pulsante è stata confermata dal CNC per raggiungere 0,003 μ m, ottenendo un significativo miglioramento della resa della produzione ultra fine ULSI.

Specifiche: