
Microscopio a forza atomica ad alto vuoto per analisi dei guasti e ricerca di materiali sensibili
Le nanomisurazioni effettuate in ambienti ad alto vuoto migliorano notevolmente la sensibilità e la risoluzione dei dati e migliorano le capacità di analisi dei materiali. Poiché gli ambienti di scansione ad alto vuoto hanno una precisione e una ripetibilità più stabili rispetto all'azoto N2 o alle condizioni ambientali secche, gli utenti possono misurare diverse risposte a una varietà di concentrazioni di doping e segnali di feedback in applicazioni come materiali semiconduttori e analisi dei guasti.
L'esecuzione di misurazioni a microscopio di resistenza alla diffusione a scansione in condizioni di alto vuoto riduce la forza di interazione punta-campione richiesta, riducendo così notevolmente i danni al campione e alla punta dell'ago. Ciò prolunga la vita utile delle punte dell'ago, rende la scansione più conveniente e conveniente e consente risultati più precisi migliorando la risoluzione spaziale e il rapporto segnale-rumore. La microscopia a resistenza a diffusione a scansione ad alto vuoto con NX-Hivac è quindi una scelta intelligente per gli ingegneri di analisi dei guasti per aumentare il loro rendimento, ridurre i costi e migliorare la precisione.

Gestione Park Hivac
Controllo automatico del vuoto NX-Hivac
Il gestore Hivac consente un alto vuoto controllando logicamente e visivamente il processo di pompaggio e scarico in condizioni di vuoto ottimali con un solo clic. I processi vengono monitorati intuitivamente attraverso le variazioni di colore e di icone, senza dover preoccuparsi dell'ordine del vuoto con un solo clic. Il software di controllo del vuoto più veloce e semplice rende l'uso del microscopio a forza atomica più semplice ed efficiente.

Caratteristiche di automazione avanzata
NX-Hivac dispone di numerose funzionalità che permettono di massimizzare e ridurre l'input dell'utente. In altre parole, è possibile eseguire la scansione più velocemente e aumentare la produttività del laboratorio.
Scansione automatizzata StepScan con supporto elettronico
StepScan consente agli utenti di programmare i dispositivi per implementare l'imaging multiregionale in modo rapido e conveniente. NX-Hivac consente di eseguire la scansione del campione in soli cinque passaggi: scansione, sollevamento del braccio, spostamento della piattaforma elettrica verso un'area di coordinate definita dall'utente, passaggio e ripetizione della scansione. Questo migliora notevolmente la produttività e riduce al massimo l'input degli utenti.

Alineamento laser elettrico
L'allineamento laser elettrico Park consente all'utente di collegare senza problemi la routine di misurazione automatizzata senza alcun input. Grazie al nostro braccio in sospensione diretta preconfigurato avanzato, il laser è allineato al braccio in sospensione durante la sostituzione della sonda. Basta regolare il pulsante di posizionamento per posizionare i punti laser arbitrariamente sugli assi X e Y per raggiungere la posizione ottimale.

Migliorare la precisione e la produttività
NX-Hivac è il microscopio a forza atomica ad alte prestazioni più preciso al mondo e uno dei più semplici e convenienti per l'analisi dei guasti. Park NX-Hivac ti aiuta a migliorare la tua produttività e a garantire risultati affidabili.
Scanner ad asse XY e Z a circuito chiuso
Con due scanner a circuito chiuso XY e Z indipendenti, puoi essere sicuro dell'alta precisione della scansione. NX-Hivac offre scansioni piane e ortogonali dell'asse XY con bassa flessione residua, rendendo la distanza di movimento laterale inferiore a 1 nm nell'intero raggio di scansione. Inoltre, NX-Hivac dispone di uno scanner ad asse Z ad alta velocità con un raggio di scansione non lineare di 15 μm inferiore allo 0,5%, che consente misurazioni precise a 2D e a 3D senza la necessità di post-elaborazione software.
Sensore di posizione dell'asse XYZ a basso rumore
NX-Hivac dispone della funzione di rilevatore a basso rumore dell'asse Z leader nel settore del microscopio atomico Park per misurare con precisione la morfologia del campione, mentre la scansione a circuito chiuso dell'asse XY a basso rumore riduce lo spazio di scansione anteriore e posteriore allo 0,15% dell'intervallo di scansione.

Controllatore elettronico digitale a 24 bit
La caratteristica principale di NX-Hivac è che i controllori elettronici della serie NX minimizzano lo spreco di tempo e massimizzano la precisione. I nostri controller sono dispositivi ad alta velocità a 24 bit completamente digitali che gli utenti possono utilizzare per eseguire una serie di scansioni, inclusa la nostra modalità True Non-Contact. Con un design a basso rumore e componenti di elaborazione ad alta velocità, il controller è la scelta ideale per misurazioni di tensione e corrente di precisione e imaging a nanoscala. L'elettronica incorporata dispone anche di funzionalità di elaborazione del segnale digitale che consentono agli utenti di analizzare facilmente le misurazioni e le immagini.
Indicatori tecnici
Scanner | Scanner XY: 50 μm x 50 μm (100 μm x 100 μm opzionale) Scanner: 15 μm |
Visione | Osservazione diretta assiale della superficie del campione e del braccio Visione: 840 μm x 630 μm (con obiettivo 10x) CCD: 5 milioni di pixel |
Banca campioni | Dimensione del campione: spazio aperto massimo di 100 mm x 100 mm quando si utilizza un singolo campione, spazio aperto massimo di 10 mm x 10 mm quando si utilizzano più campioni e spessore massimo di 20 mm Gamma di viaggio dello stadio del campione XY: 22 mm x 22 mm Portata della piattaforma Z: 24 mm Campo di spostamento del tavolo di messa a fuoco: 11 mm |
alto vuoto | Grado di vuoto: tipicamente meno di 1 x 10-5 pallet Velocità della pompa: raggiungere 10 ^ -5 Torr in circa 5 minuti utilizzando una turbina e una pompa a secco |
controller |
Elaborazione del segnale: ADC: 18 canali X. ADC a 24 bit per sensori di posizione dello scanner Y e Z DAC: 17 canali ADC a 20 bit per il posizionamento dello scanner X, Y e Z Funzioni complete: Calibrazione costante a molla flessibile digitale a 4 canali (metodo di controllo termico) controllo Q digitale |
software |
Park SmartScan ™: Software di controllo e acquisizione dati del sistema AFM Modalità automatica per una configurazione rapida e una facile imaging Modalità manuale per uso avanzato e controllo di scansione più fine XEI: Software di analisi dati AFM Design indipendente - in grado di installare e analizzare dati oltre AFM In grado di generare rendering 3D dei dati raccolti Hivac Manager Software di controllo del vuoto completamente automatico |
Opzioni/modalità |
senza contattocontatto
Leggero Proprietà magnetiche Microscopio a forza magnetica (MFM) Proprietà dielettriche/piezoelettriche Microscopio piezoelettrico della forza di risposta (PFM) PFM ad alta tensione Spettro di risposta piezoelettrica Proprietà meccaniche Nanomeccanica PinPoint Microscopia a modulazione della forza (FMM) nanoindentazione Nanolitografia Nanoincisione ad alta pressione nanomanipolazione Microscopia della forza laterale (LFM) Spettro distanza di forza (F/d) Forza immagini in volume
caratteristica elettrica
Microscopia a forza atomica conduttiva (C-AFM) Spettro I/V Microscopia della forza della sonda Kelvin (KPFM) KPFM ad alta tensione Microscopio a capacità di scansione (SCM) Microscopia a resistenza estesa di scansione (SSRM) Microscopio a scansione a tunnel (STM) Microscopio elettrostatico a forza (EFM) Prestazioni termiche Microscopio termico a scansione (SThM) PROPRIETA' chimiche Microscopio chimico a forza con punta funzionalizzata dell'ago |
accessorio | Tabella di controllo della temperatura Fase di campionamento inclinata Fase di inserimento del campione |
