OTL-PECVD-1200-1400-1200 sistema PECVD a tre zone a temperatura, composto da tre forni a tubo a vuoto a canna scorrevole, camera a vuoto al quarzo, alimentazione radiofrequenza, sistema di alimentazione del gas GX, sistema di pompaggio, sistema di misurazione del vuoto, motore di tiraggio elettrico.

Caratteristiche principali:

1, trasformare il gas all'interno della camera a vuoto al quarzo in uno stato ionico attraverso l'alimentazione a radiofrequenza.

Il PECVD ha una temperatura inferiore rispetto al normale CVD per il deposito di gas chimico.

3, può controllare la dimensione della tensione della pellicola depositata attraverso la frequenza dell'alimentazione a radiofrequenza

Il PECVD ha un'alta velocità di deposito di fase chimica, buona uniformità, alta coerenza e stabilità rispetto al normale CVD.

Ampiamente utilizzato per: la crescita di varie pellicole sottili, come: SiOx, SiNx, SiOxNy e silicio amorofo (a-Si: H) ecc.

Questo sistema PECVD a tre temperature è un sistema PECVD in grado di riscaldare e raffreddare rapidamente, è un paio di scorrevoli elettrici installati in tre forni a tubo, con un sistema di scorrimento elettrico disponibile. Velocità di riscaldamento e raffreddamento fino a 100°C/min. Per un riscaldamento più rapido, il forno può essere pre-riscaldato alla temperatura impostata e quindi spostato nel campioneMetti. Per un raffreddamento più rapido, il forno può essere spostato all'altra estremità dopo il riscaldamento del campione. Le velocità di riscaldamento e raffreddamento possono essere raggiunte in condizioni di vuoto o gas inerti10 ° C / s, è un sistema PECVD a doppia temperatura a basso costo per riscaldamento rapido e raffreddamento.

Questo sistema PECVD a tre zone a temperatura utilizza fili di resistenza Kanthal svedesi e barre di carbonio di silicio come elementi di riscaldamento, utilizza una struttura a doppio strato e un termometro di controllo di procedura a 30 sezioni, innesco di fase spostata, controllo del silicio controllabile, forno utilizza materiale di fibra policristallina di alluminio importato dal Giappone, due estremità del tubo del forno sono sigillate con flangia in acciaio inossidabile, flangia in acciaio inossidabile è installata con bocca d'aria, valvolaE il tensiometro, il vuoto può raggiungere 10-3 Pa quando pompato, diviso in due zone di temperatura, due zone di temperatura possono essere controllate indipendentemente, impostare temperature diverse, facile da usare, facile da usare, questo forno ha l'equilibrio del campo termico, bassa temperatura superficiale, velocità di temperatura di raffreddamento rapida, risparmio energetico e altri vantaggi, è università, istituti di ricerca scientifica, imprese minerarie industriali per bruciare l'atmosfera ad alta temperatura Il prodotto ideale per i nodi, la crescita del grafene e la crescita di varie pellicole sottili.

(1), lo spessore d dell'estremità calda della barra di carbonio di silicio è di 14 mm, il produttore generale utilizza 12 mm, l'estremità di riscaldamento è grossa, non è facile piegarsi, il carico superficiale della barra è basso e la vita è lunga.

（2), la lunghezza dell'estremità fredda è di 210 mm, il produttore generale utilizza 180 mm, la temperatura del piano del forno a estremità fredda è bassa.

(3), la superficie della barra di carbonio di silicio è densa e non cristallina, in grado di proteggere meglio la barra di carbonio.

Quando il circuito è sovracorrente o perde, l'apertura vuota si disconnette automaticamente

Il forno a tubo atmosfericoPuòDotato di interfaccia di comunicazione e software, può controllare direttamente i vari parametri del forno tramite il computer e può osservare i valori di temperatura PV e SV sul forno e il funzionamento dello strumento, la curva di riscaldamento effettiva del forno sarà tracciata in tempo reale e può salvare i dati di temperatura di ogni momento, in qualsiasi momento

(1) Forno di indurimento in fibra policristallina di ossido di alluminio di alta qualità per la stampatura a aspirazione al vuoto.
2) Adottare la tecnologia giapponese.
(3), bassa capacità termica del materiale del forno, basso coefficiente di conduttività termica, quindi meno dissipazione, buon isolamento e alta riflessione. equilibrio di temperatura.
(4), il filo dell'ossido di alluminio del forno è sottile e lungo, resistente ad alte temperature, resistente all'aumento del calore e forte capacità di raffreddamento
(5), la superficie del forno è pulita e non è facile perdere la polvere.

(Tutti gli elettrodomestici importati con certificazione UL)