Adatto a gas speciali reattivi e corrosivi serie alogene come HBr e HCl. La parte di contatto del gas è fatta della lega di nichel Hastelloy e il sensore di pressione è dedicato ai gas speciali corrosivi

Nella linea di produzione delle apparecchiature a semiconduttore, i gas speciali reattivi e corrosivi alogeni quali HBr e HCl sono ampiamente utilizzati. Questi gas corrosivi adsorberanno e reagiranno con una piccola quantità di umidità sulla superficie interna dell'acciaio inossidabile utilizzato nelle condotte di alimentazione del gas, nei sensori di pressione, nei filtri del gas, ecc., formando prodotti di corrosione. Questa sostanza è la causa dell'inquinamento del processo a semiconduttore causato dalla generazione di particelle. Pertanto, abbiamo adottato la lega del nichel di Hastelloy, che ha una resistenza della corrosione molto migliore dell'acciaio inossidabile SUS316L ® Sviluppare il sensore di pressione serie PC-601 per i gas corrosivi.

● Elevata resistenza alla corrosione
Corrispondente ai gas speciali reattivi e corrosivi alogeni quali HBr e HCl, la parte di contatto del gas è fatta della lega di nichel di Hastelloy, che ha resistenza alla corrosione molto più alta dell'acciaio inossidabile SUS316L ®， Ed ha subito un trattamento elettrolitico di macinazione, esercitando pienamente la sua eccellente capacità di resistenza alla corrosione.

● Alta precisione, alta affidabilità
La deviazione massima dalla linea di montaggio ottimale causata da linearità, isteresi e ripetibilità è ± 0,25%, dimostrando alta precisione e affidabilità.

● Ampio intervallo di misura
Il campo di pressione del misuratore va da 0 a 172.4KPA (1.76KGf/cm2) a 20684KPa (210KGf/cm2), e il campo di pressione assoluto va da 0 a 2586torr.

● Lunga durata
Ogni intervallo di misura ha superato un milione di cicli di test di durata.

Specifiche:

Tutti i tipi di pressione del manometro possono essere collegati insieme.