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Forno pulito a semiconduttore
Sistema operativo touch screen di recente sviluppo con regolatore PID ad alta precisione, precisione di controllo della temperatura di ± 0,1 ℃, temper
Dettagli del prodotto

Caratteristiche del prodotto

PRODUCT FEATURES


I forni puliti sono ampiamente utilizzati per il trattamento termico/essiccazione o l'invecchiamento di wafer a semiconduttore, cristalli liquidi, moduli ottici, moduli della fotocamera e altre parti e attrezzature che richiedono elevati requisiti di cottura. Il livello di pulizia di 100 è ottenuto principalmente attraverso l'uso di filtri primari, filtri HEPA ad alta efficienza e sistemi di circolazione laminare anteriore e posteriore, fornendo prestazioni stabili durante i processi di riscaldamento o raffreddamento. Il rapido riscaldamento e il tempo di recupero assicurano un eccellente controllo della temperatura e uniformità. Dotato di un unico sistema di flusso d'aria a convezione meccanica. La ventola rimuove il calore generato dal forno inferiore per evitare danni all'unità superiore.


Il forno pulito utilizza un sensore PT100 platino per misurare la temperatura effettiva della camera e un filtro ad alta efficienza 0,3 µ mHEPA per circolare e filtrare efficacemente l'aria. Il forno ha anche un misuratore di portata e accessori NPT, che introducono gas inerti come l'azoto nella camera per la cottura di processo speciale e possono mantenere livelli di ossigeno fino a 200PPM.


Il materiale esterno del forno pulito è piatto d'acciaio SPCC, che è stato lavato con acqua soda e trattato con vernice di rivestimento a polvere; L'interno è realizzato in acciaio inossidabile resistente alla corrosione. Dotato di quattro staffe regolabili in acciaio inossidabile perforate, le staffe e il corpo sono facili da smontare e pulire.

Le caratteristiche di sicurezza includono molteplici meccanismi di protezione come protezione indipendente da sovratemperatura, protezione da sequenza di fase e protezione di spegnimento per garantire un uso sicuro. C'è una porta di sicurezza che può essere aperta solo dopo cottura e raffreddamento alla temperatura specificata per garantire la sicurezza degli operatori.


1. piatto dell'acciaio inossidabile SUS304 1.5mm, processo completamente saldato;

2. Il condotto dell'aria all'interno della scatola è dotato di una presa d'aria pulita e di un filtro ad alta efficienza. Sia le modalità ventilate che non ventilate possono essere utilizzate per garantire una leggera pressione positiva all'interno della scatola, impedendo agli inquinanti di entrare nella scatola interna;

3. Il filtro HEPA ad alta efficienza è utilizzato per costruire una stanza pulita, che può filtrare il gas all'interno della scatola unidirezionale e ciclicamente. Secondo i requisiti di utilizzo, può soddisfare i requisiti di vari livelli di pulizia come ISO Classe 5 (Standard nazionale 100), ISO Classe 6 (Standard nazionale 1000), ISO Classe 7 (Standard nazionale 10000), ecc;

4. configurare un dispositivo di riempimento automatico dell'azoto ed eseguire il riempimento e la cottura dell'azoto con l'apertura e la chiusura automatica della porta dell'aria;

5. nuovo sistema operativo touch screen sviluppato con il regolatore PID di alta precisione, precisione di controllo della temperatura di ± 0,1 ℃, temperatura costante automatica. È possibile salvare formule, visualizzare curve di temperatura, esportare dati di riscaldamento, ecc;

6. Personalizzazione è accettabile secondo i requisiti di utilizzo.

Parametri del prodotto

PRODUCT PARAMETERS

modello

YH-J100-ES-02

intervallo di temperatura

Temperatura ambiente -300 ℃

Precisione della temperatura

±1℃

Uniformità della temperatura

± 2% (carico vuoto)

Potenza

6KW

volume

350L

Dimensioni di lavoro (altezza * larghezza * profondità)

910*620*620(mm)

Dimensioni esterne (altezza * larghezza * profondità)

1750*855*1030(mm)

filtro

Filtro HEPA resistente alle alte temperature e ad alta efficienza (Classe 100)

Intervallo di contenuto di ossigeno

1% -100PPM (facoltativo)

tasso di riscaldamento

Il tasso di riscaldamento può essere regolato e la temperatura ambiente senza carico sale a 175 ℃ per circa 30 minuti


servizio personalizzato

CUSTOM SERVICE

Shenzhen Yihexing può fornire diversi gradi di uniformità, dimensione e gamma di temperatura; Se avete requisiti o specifiche specifiche, vi preghiamo di contattarci in base alle vostre esigenze in modo che possiamo garantire che la progettazione, il test e la regolazione dell'apparecchiatura possano soddisfare le vostre esigenze.

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