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Dispositivo di cattura del gas a chip di silicio
Dispositivo di cattura del gas a chip di silicio
Dettagli del prodotto

Introduzione del prodotto
Per catturare i componenti volatili (inquinanti organici) sulla superficie dei chip di silicio da 8 e 6 pollici. (SW-8400)
Utilizzato per catturare i componenti volatili (inquinanti organici) sulla superficie del chip di silicio da 12 pollici. (SW-12400)
· Cattura di gas volatili a chip di silicio unilaterale, facile da usare.
· Il forno di riscaldamento utilizza il metodo di sospensione inversa, solo per la cattura del campionamento del gas prodotto dalla parte anteriore del chip.
Il forno di riscaldamento può essere riscaldato fino a 500 ° C.
La sigillatura del forno di riscaldamento è sigillata con anello O (materiale poliaminico), senza perdite.
Il gas viene generalmente catturato con PAT (volume di 10 ml, riempito con 2,5 g di Tenax GR). È anche possibile eseguire il campionamento con i tubi di prelievo di altri produttori.
· Disponibilità di circolazione dell'acqua di raffreddamento.
・Dispositivi di sicurezza come dispositivi anti-surriscaldamento, dispositivi di sicurezza interbloccati, pulsanti di arresto di emergenza, sensori di perdita di acqua (opzionali).
Parametri tecnici
Modalità
Modo di sospensione inversa
Dimensioni del chip di silicio di cattura
Aggiungere anelli di espansione da 8" o 6", fino a 5" (tipo 12400, 12")
Anello O
Diametro della tenuta 220 mm (poliammina)
Forno di riscaldamento al quarzo
Quarzo trasparente
Riscaldamento del forno
Riscaldamento indipendente del pannello superiore e del fondo
Temperatura di utilizzo del forno di riscaldamento
Uso comune 400 ° C (fino a 500 ° C)
raffreddamento forno riscaldamento
Circolazione dell'acqua di raffreddamento
Tubo isolante
Trattamento di rivestimento inerte della superficie interna
Soffia il gas
Di solito con azoto, flusso massimo 500ml / min
Dispositivi anti surriscaldamento
Corrente 15A, corrente di induzione 30mA
Pulsante di fermata di emergenza
Rosso, funghi
Dispositivi di sicurezza
Struttura di blocco
Metodo di pressione
azionamento motore
Dimensioni dell'apparecchiatura
1140(W)×1106(H)×750(D)mm
Peso
280Kg
Alimentazione
Monofase AC200V, 15A, AC100V, 20A
Accessori standard:
PAT (tubo di assorbimento di primo livello):
2 (non compatibile con tubi di cattura di altre aziende)
Il PAT
1 (non compatibile con altri tubi di cattura aziendali)
Adattatore PAT
1 (in combinazione con altri tubi di cattura aziendali)
Anello O
Due.
Circolazione dell'acqua di raffreddamento
1 unità (con tubo standard)
Tubo isolante
1 pezzo
Distribuzione gas
1 set (1/16"-1/8")
Cavi
1 set
Strumenti
1 set
Istruzioni operative
1 libro
* Le specifiche tecniche del modello SW-12400 sono richieste.
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