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YAMATO macchina di pulizia al plasma PR500/510/1000 DP mode, tipo di barilotto
Plasma a bassa temperatura · Tipo barile classico
Dettagli del prodotto
Plasma a bassa temperatura · Tipo barile classico.
PR500： Controllo manuale PR510: controllo touch screen automatico
Slot interno
Stato di grigio della wafer di silicio
Il modello classico del plasma a bassa temperatura è molto storico. Grazie alla funzione di coordinamento automatico e al funzionamento touch screen (PR510), migliorata la funzionalità e la sicurezza, è un piccolo e compatto dispositivo di trattamento al plasma.
● Rimozione della colla
• Pulizia delle parti
• Gestione dell'attività dell'interfaccia
• Micro macinatura
● Wafer di silicio, sottostrato di vetro corrispondente
Uso
● Cava di reazione al quarzo di grande diametro (Φ215mm)
• Piccolo design integrato
Specifiche:
Modello |
PR500 |
PR510 |
Modalità plasma |
Modalità DP, barile |
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Potenza di uscita ad alta frequenza |
Max500W |
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Frequenza |
13.56MHz |
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Modalità di sincronizzazione |
Coordinamento automatico |
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Cava di reazione |
Quarzo Φ215 × 305mm |
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Gas di reazione |
Sistema 2 (O2/CF4) |
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Controllo |
manuale |
Controllo automatico dello schermo tattile |
Materiale della tubazione |
Acciaio inossidabile, Teflon |
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Dimensioni |
W438 x D520 x H760mm |
Riferimento specifiche |
Peso |
Circa 60 kg |
Riferimento specifiche |
Alimentazione |
Monofase AC100V 9A |
Trifase AC200V 8A |
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