Microscopio metallografico Zeiss Axio Imager Vario

introdurre

Rilevamento di campioni di grandi dimensioni - dotato di un sistema di messa a fuoco automatico e rispondente ai requisiti degli standard ultra clean room
Analizzare da sensori MEMS estremamente piccoli a wafer XXL ultra grandi, o persino microscopi piatti interi, senza causare danni ai campioni. Con una distanza di movimento laterale massima di 300 mm e una profondità verticale massima di 254 mm, è possibileMicroscopio metallografico ZeissAxio Imager Vario rileva un gran numero di campioni. Il design integrato della colonna garantisce stabilità. Nell'applicazione dell'ispezione dei wafer in camere ultra pulite - Axio Imager Vario è stato certificato secondo la norma DIN EN ISO 14644-1 e soddisfa i requisiti di camera bianca livello 5. Utilizzando un motore elettrico che guida l'asse Z e hardware di messa a fuoco automatica per garantire la regolazione automatica ad una migliore posizione di messa a fuoco.

caratteristica

Sono disponibili per la selezione due colonne del motore manuale e una del motore elettrico (dotate di tre pulsanti di controllo della modalità conformi alle norme del settore), sfruttando appieno i vantaggi della distanza massima di movimento orizzontale e verticale del microscopio di 300 mm e della profondità verticale massima di 254 mm.
Microscopio metallografico ZeissAxio Imager Vario può mettere a fuoco il campione spostando l'obiettivo su e giù. Ciò significa che anche i campioni più pesanti possono ottenere precisione di messa a fuoco e ripetibilità di alta precisione.
Con l'aiuto dell'hardware autofocus, è possibile mettere a fuoco accuratamente e rapidamente campioni riflettenti a basso contrasto.
Axio Imager Vario combinato con LSM 700 per analisi ad alta risoluzione senza contatto di campioni sensibili.
Axio Imager Vario è stato certificato secondo la norma DIN EN ISO 14644-1 e soddisfa i requisiti di camera bianca livello 5.

Camera ultra pulita

La produzione di semiconduttori e l'ispezione dei wafer devono essere completati in una stanza ultra pulita. Secondo la norma DIN EN ISO 14644-1, viene classificato in diversi gradi in base al numero e alle dimensioni delle particelle per metro cubo. Nelle applicazioni in camera bianca, Axio Imager Vario è stato certificato secondo questo standard e soddisfa i requisiti di camera bianca livello 5. Il livello ISO 5 per le camere bianche è equivalente al livello 100 dello standard FED STD 209E (1992). Il kit cleanroom include un giradischi per obiettivi a 7 fori, una copertura di protezione contro le particelle e una copertura di protezione contro lo starnuto.

Hardware di messa a fuoco automatica

Integrato con sistema hardware di messa a fuoco automaticaMicroscopio metallografico ZeissAxio Imager Vario è in grado di ottenere una messa a fuoco veloce e precisa in un campo di cattura focale fino a 12000 µ m. Nelle applicazioni industriali di produzione e ricerca, è necessario un sistema di messa a fuoco ad alta precisione con una precisione di messa a fuoco pari a 0,3 volte la profondità di campo dell'obiettivo. Questo hardware di aggregazione automatica è adatto per applicazioni che utilizzano luce riflessa, luce trasmessa, campo luminoso, campo scuro, polarizzazione, differenza di fase di interferenza differenziale e metodi di osservazione obliqua dell'illuminazione.